Y Gwahaniaeth Rhwng Sputtering Coating A Vacuum Coating in Glass Company

Yn wahanol i'r anweddiad gwactod, sputtering yw'r defnydd o ïonau ynni uchel i wrthdaro â'r deunydd targed, fel bod ffurfio atomau, moleciwlau, ïonau yn hedfan allan, gan ffurfio ffilm ar y swbstrad.

Y dull hwn o offer yw'r dull a ddefnyddir amlaf yn ein ffatri poteli gwydr wrth boblogeiddio a diwydiannu cynhyrchu. Darganfyddir y ffenomen sputtering gan y Grove o A1 ar y catod ar wyneb y tiwb rhyddhau.

Mae ïonau ynni uchel (neu ïonau niwtral) a deunyddiau targed i gynhyrchu gwrthdrawiad elastig, mae wyneb targed yr ïonau yn amsugno'r momentwm hwn, ac yna'n gwrthdaro ymhellach â'r ïonau cyfagos, mae'r canlyniad yn cael ei dorri i ffwrdd yr atomau arwyneb targed sy'n gysylltiedig â'r bond rhwng mae wyneb yr atom yn hedfan allan, gan arwain at sputtering.

Mae pob math o effeithiau a achosir gan sputtering yn effeithiol ar gyfer allyriadau electron ddwywaith, sputtering catod gwydr (targed), dadelfennu dadansoddol nwy, gwresogi cathod, lledaeniad iard mewn gosodiad, newid dellt a mewnblannu ïon. O'i gymharu â nifer y gronynnau positif digwyddiad, mae R yn dod yn gyfernod allyriadau dau electron y botel wydr, ac mae ei werth yn cael ei effeithio gan briodweddau'r deunydd targed, y màs ïon positif, y potensial ionization a maint momentwm y ddau. electronau.

Pan fydd yr egni gronynnau positif yn cyrraedd dwsinau o i gannoedd o foltiau electronau, mae'r gwerth R yn y cwmni gwydr sawl 1% ychydig un rhan o ddeg.

Pan fydd ïon positif yn gwrthdaro â tharged, mae'n cynhesu ac mae 75% o'i egni yn cael ei droi'n wres, fel bod angen oeri'r deunydd targed fel y gellir dadelfennu'r targed neu hyd yn oed ei ddiddymu. Yn gyffredinol, mae egni'r anwedd gwactod o'r ffynhonnell anweddiad i hedfan allan o'r atom yn y ffatri wydr yn 0.1ev, yn y deunydd targed sblash allan o'r ynni atomig na'r ffynhonnell anweddiad gwactod i hedfan allan o'r egni atomig i orchymyn maint mawr 1 ~ 2, tua 5 ~ 10ev, mae gan bob uned amser y gyfradd sputtering r, r gwerth ac mae dwysedd ïon positif digwyddiad a gwerth cyfernod sputtering yn gymesur â'r cynnyrch.